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半導(dǎo)體高純PFA管/閥等:在超潔凈應(yīng)用的必要性【看懂半導(dǎo)體行業(yè)高純PFA管閥接頭等:相關(guān)國際品牌、性能及應(yīng)用、生產(chǎn)檢測要點(diǎn)……】
來源: | 作者:shjinfu | 發(fā)布時(shí)間: 2024-06-24 | 327 次瀏覽 | 分享到:


     www.shjinfu.com.cn  021-57629631--區(qū)()業(yè)應(yīng)

     業(yè)產(chǎn)業(yè)沿術(shù),經(jīng)PTFE/FEP/PFA/ETFE/PVDF、PEEK、、、學(xué)。  

 

      PFA,全稱為聚四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚,是一種高性能的氟塑料。它具有極佳的化學(xué)穩(wěn)定性,能夠抵抗幾乎所有的化學(xué)腐蝕,同時(shí)具備出色的熱穩(wěn)定性,可在-200℃至260℃的溫度范圍內(nèi)長期使用(PFA制品在實(shí)際工況中的使用溫度范圍無法達(dá)到“原料理論值-200℃至260℃”,具體有興趣者咨詢上海勁孚技術(shù)組討論PFA因其卓越的化學(xué)穩(wěn)定性、耐高溫性、純凈度、非粘附性、低介電常數(shù)、低損耗因子以及抗紫外線特性,因其卓越的化學(xué)穩(wěn)定性和純凈度,在半導(dǎo)體、生物制藥、高端科研等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用!在半導(dǎo)體行業(yè),高純PFA管閥接頭等制品,每一個(gè)細(xì)節(jié)都至關(guān)重要,因?yàn)樗鼈冎苯佑绊懙叫酒男阅芎涂煽啃浴?/span>


一:半導(dǎo)體高純PFA管閥的性能特點(diǎn)與國際品牌

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       高純度PFA管閥(后文對(duì)“”高純度PFA管/閥/接頭等制品”,統(tǒng)一稱呼為“高純度PFA管閥”)是一種廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的管閥,其具有優(yōu)異的耐腐蝕、耐高溫和絕緣性能。這種管閥的純度極高,可以有效防止雜質(zhì)和污染物的滲透,保證半導(dǎo)體的制造過程中不會(huì)出現(xiàn)任何雜質(zhì)混入。

超強(qiáng)耐腐蝕

       高純PFA管閥在面對(duì)各類強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和有機(jī)溶劑時(shí),表現(xiàn)出卓越的抗腐蝕能力。這意味著在半導(dǎo)體制造過程中,它可以有效防止各種化學(xué)物質(zhì)對(duì)設(shè)備造成損害,確保半導(dǎo)體設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

高度潔凈

     高純PFA管閥運(yùn)用先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)制造,內(nèi)壁光潔無瑕,能顯著減少污物和微生物的附著,從而提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量合格率。PFA金屬離子析出極低,滿足半導(dǎo)體濕電子化學(xué)品高純度標(biāo)準(zhǔn)!

出色絕緣性能

      高純PFA管閥擁有良好的絕緣特性,電介質(zhì)參數(shù)低,能夠有效抵擋電磁干擾并防止靜電積累。這樣一來,在半導(dǎo)體制造中,使用高純PFA管可以確保設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定安全。

重量輕便易用

      高純PFA管閥重量輕,不僅方便安裝和搬運(yùn),而且在半導(dǎo)體行業(yè)中,其輕巧的特性也有助于降低勞動(dòng)強(qiáng)度,提高工作效率。

      對(duì)PFA閥門在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的應(yīng)用,根據(jù)閥門操作方式和結(jié)構(gòu)特點(diǎn),可以分為以下幾類:PFA手動(dòng)閥:通過手動(dòng)操作來控制流體的流通,適用于需要精確控制流量的場合。②PFA氣動(dòng)閥:通過氣動(dòng)執(zhí)行器控制閥門的開啟和關(guān)閉,適用于自動(dòng)化程度較高的工業(yè)系統(tǒng)。PFA回吸閥:用于防止流體倒流,保護(hù)系統(tǒng)安全。④PFA針閥:具有精確的流量控制能力,常用于實(shí)驗(yàn)室和精細(xì)控制場合。⑤PFA肘形閥:結(jié)構(gòu)緊湊,便于安裝,常用于管道系統(tǒng)中。PFA止回閥:防止流體反向流動(dòng),保護(hù)泵和其他設(shè)備。

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     高純PFA管閥因其卓越的化學(xué)穩(wěn)定性和純凈度,在半導(dǎo)體、生物制藥、高端科研等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。以下是一些國際知名的高純或超級(jí)高純PFA管閥生產(chǎn)廠家:

      ①日本皮拉PILLAR:以其高質(zhì)量的產(chǎn)品和創(chuàng)新技術(shù)而聞名。

      ②日本CKD:提供多樣化的自動(dòng)化解決方案。

      ③美國Swagelok:提供多種高質(zhì)量的流體系統(tǒng)產(chǎn)品,包括PFA管材和接頭。以其精密的制造工藝和嚴(yán)格的質(zhì)量控制而著稱。

     ④美國Upchurch Scientific:專注于為科研和工業(yè)市場提供高純度流體系統(tǒng)解決方案。

     ⑤美國Parker:提供廣泛的流體控制產(chǎn)品和系統(tǒng)。

     ⑥派克漢尼汾(Parker Hannifin):全球性的工程技術(shù)公司,提供廣泛的流體控制產(chǎn)品,包括PFA管材。

    ⑦法國Saint-Gobain:擁有廣泛的高性能材料產(chǎn)品線。

    ⑧韓國Innodis:以其創(chuàng)新的產(chǎn)品設(shè)計(jì)和優(yōu)秀的客戶服務(wù)而受到好評(píng)。

    ⑨韓國SEBA:專注于提供高質(zhì)量的工業(yè)閥門。

    ⑩Nordson EFD:提供高精度的流體處理系統(tǒng),包括PFA管材,服務(wù)于全球多個(gè)行業(yè)。

    德國GEMU(蓋米):以其創(chuàng)新的技術(shù)和高質(zhì)量的產(chǎn)品而受到認(rèn)可。

      ?德國ASV STUEBBE (斯德寶):專注于提供定制化的閥門解決方案。

   .…… .……

 (等等眾多國際品牌),比如美國英特格Entegris公司在PFA管和濾芯在半導(dǎo)體行業(yè)客戶多多,在此無法一一列舉。


二:高純度PFA管閥在半導(dǎo)體行業(yè)的常見應(yīng)用及要求

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      在半導(dǎo)體制造中高純度PFA管閥被廣泛應(yīng)用于各種工藝流程中,如氣體的輸送、液體的傳輸以及各種真空系統(tǒng)中的管道。這些管道需要承受高溫、高壓和各種腐蝕性介質(zhì)的作用,而高純度PFA管閥具有優(yōu)異的性能,能夠滿足這些嚴(yán)苛的要求。

      此外,高純度PFA管閥還具有良好的可加工性和可焊接性,方便了其在半導(dǎo)體制造中的安裝和維修。同時(shí),由于其高純度的特性,高純度PFA管閥還能夠有效地提高半導(dǎo)體的生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。

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      1:高純度PFA管閥的主要應(yīng)用領(lǐng)域如下:

潔凈室應(yīng)用

     半導(dǎo)體制造需要在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行,以避免塵埃和污染物對(duì)產(chǎn)品的影響。高純PFA管閥可以應(yīng)用于潔凈室中的各種管道系統(tǒng),如氣體輸送、液體輸送和排放等。高純PFA管閥的潔凈度高、耐腐蝕性強(qiáng),可以保證潔凈室的穩(wěn)定性和安全性。

晶圓處理設(shè)備

     在半導(dǎo)體制造過程中,晶圓是核心的制造材料。晶圓需要經(jīng)過多道處理工序,包括切割、研磨、清洗和封裝等。在這些處理過程中,高純PFA管閥可以應(yīng)用于各種晶圓處理設(shè)備中,如傳輸管道、流體控制系統(tǒng)和真空系統(tǒng)等。高純PFA管閥的耐腐蝕性、潔凈度和絕緣性等特點(diǎn),可以有效地提高晶圓處理設(shè)備的性能和生產(chǎn)效率。

化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)

      CMP是半導(dǎo)體制造中常用的表面處理技術(shù),用于去除晶圓表面的微小顆粒和粗糙度。在CMP過程中,需要使用各種化學(xué)試劑和研磨劑等。高純PFA管閥可以作為CMP設(shè)備中的進(jìn)料管道和循環(huán)管道,有效地保證CMP設(shè)備的正常運(yùn)行。

氣體輸送系統(tǒng)

     在半導(dǎo)體制造過程中,各種氣體被廣泛應(yīng)用于化學(xué)反應(yīng)和加工高中純。PFA管閥可以應(yīng)用于氣體輸送系統(tǒng)中,如真空管道、氣流控制管道高和純廢P氣F排A放管管的道耐等腐。蝕性、潔凈度和絕緣性等特點(diǎn),可以有效地保證氣體輸送系統(tǒng)的穩(wěn)定性和安全性。


     高純度PFA材料不含任何可污染半導(dǎo)體工藝的雜質(zhì)。在半導(dǎo)體制造的超潔凈環(huán)境中,高純PFA的應(yīng)用至關(guān)重要!

    ①減少污染:高純度PFA管閥的非粘性表面減少了顆粒物的附著,降低了流體污染的風(fēng)險(xiǎn)。

    ②提高純度:高純度PFA因?yàn)榻饘匐x子析出低,耐滲透能力好,所有高純度PFA管閥的高純度特性保證了化學(xué)品和氣體的純凈輸送,避免對(duì)半導(dǎo)體工藝造成影響。

    ③系統(tǒng)可靠性:PFA管閥的低摩擦系數(shù)等多種特點(diǎn),高純度PFA管閥的耐化學(xué)腐蝕性和耐高溫性能提高了整個(gè)輸送系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性。   

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     2:超級(jí)高純度 951HP的PFA管和高純度451HP的PFA管的性能應(yīng)用區(qū)別

     本文所說的“高純度PFA”包括了:超級(jí)高純度PFA和高純度PFA!寫到這里,我們針對(duì)“超級(jí)高純度PFA和高純度PFA!”,用杜邦科慕的PFA原料951HP與451HP制作的管件進(jìn)行簡單說明:

      951HP是超級(jí)高純度PFA,451HP是高純度!951HP的 PFA管因?yàn)?span style="margin: 0px; padding: 0px; outline: 0px; max-width: 100%; letter-spacing: 1px; box-sizing: border-box !important; overflow-wrap: break-word !important;">化學(xué)純度和透明度上更勝一籌,使其更適合于對(duì)高純度有極高要求、極高的化學(xué)穩(wěn)定性、高透明度要求的應(yīng)用場景。

      在化學(xué)性質(zhì)上951HP的 PFA管是進(jìn)一步升級(jí),屬于超級(jí)高純度的PFA管材。它不僅具備了杜邦科慕451HP的PFA管的耐化學(xué)腐蝕性能,還擁有更高的化學(xué)惰性,不會(huì)在傳輸過程中釋放任何離子或顆粒(金屬離子析出極低.極低.極低.哦/耐滲透極好),這對(duì)于需要極高純度的化學(xué)品和半導(dǎo)體超純水的應(yīng)用至關(guān)重要。在物理透明度上:951HP的 PFA管比451HP的PFA管更透明!451HP的PFA管通常為透明或半透明,951HP的 PFA管基本為全透明。在高純度應(yīng)用中,如半導(dǎo)體制造、光伏制造、生物制藥、食品飲料生產(chǎn)等,可以直觀地觀察到管道內(nèi)部的流體狀態(tài),確保沒有污染物的混入。



三:高純度PFA管閥生產(chǎn)螺桿要求與產(chǎn)品檢測控制

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     1:生產(chǎn)加工中螺桿的選擇:


     高純PFA產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中對(duì)螺桿材質(zhì)的選擇非常關(guān)鍵,因?yàn)槁輻U直接與熔融的PFA樹脂接觸。為了確保管材質(zhì)量,避免金屬顆粒或其他污染物的混入,通常使用以下材質(zhì)的螺桿:


    ①耐腐蝕合金:如不銹鋼316或更高等級(jí)的合金,具有良好的耐腐蝕性。


     ②碳化鎢:具有極高的硬度和耐磨性,適用于加工高硬度和高磨蝕性的材料。


     ③陶瓷螺桿:陶瓷材料具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和耐磨性,適用于高純度要求的PFA管生產(chǎn)。


      螺桿的表面處理也很重要,如涂層或特殊表面處理,可以進(jìn)一步提高其耐腐蝕性和耐磨性。



     2:高純度PFA管閥檢測


     一般也不外乎以下幾種:

      ①外觀檢查:內(nèi)徑、外徑、壁厚,偏心度,外觀是否光滑、光澤度(是否有雜質(zhì)、是否彎折、是否磨損)、包裝要求等。

    ②性能要求:

     化學(xué)純度檢測:高純度PFA管閥必須通過嚴(yán)格的化學(xué)純度測試,以確保不含任何可能污染半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的雜質(zhì)。(酸洗后的金屬離子析出)

     物理性能測試:包括硬度、抗拉強(qiáng)度、彈性模量等,以確保PFA管在高壓和高溫下保持結(jié)構(gòu)完整性。

     耐高溫性能測試:高純度PFA管閥需要通過高溫穩(wěn)定性測試,以證明其在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的可靠性。

     耐化學(xué)腐蝕性測試:通過模擬實(shí)際使用環(huán)境,測試PFA管閥對(duì)各種化學(xué)品的耐受性。

     滲透性測試:評(píng)估PFA管閥在輸送高純度氣體或液體時(shí)的密封性能。

     微生物污染測試:確保PFA管閥在使用過程中不會(huì)成為微生物污染的源頭。

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     “一代材,一代工業(yè)”---材料強(qiáng),則工業(yè)強(qiáng);工業(yè)強(qiáng),則國強(qiáng)。上海勁孚化工科技有限公司,真誠期待與天下人分享交流各種特種新材料。識(shí)別下圖中二維碼,微信關(guān)注“上海勁孚化工科技有限公司”微信公眾號(hào)吧)

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